氦檢漏儀的優(yōu)點(diǎn)
2022.10.02
氦檢漏儀的較小可檢漏率（靈敏度），指的是在檢漏裝置在處于一個(gè)較佳的工作條件下（示漏氣體采用的是一個(gè)大氣壓的純氦），做“動(dòng)態(tài)檢漏”時(shí)能檢出的較小漏孔的漏率。
1、較佳工作條件。
指被檢鍍膜設(shè)備部件的材料出氣很少，且沒(méi)有較大漏孔；檢漏裝置本身的參數(shù)調(diào)整到較佳工作狀態(tài)等。
2、動(dòng)態(tài)檢漏。
指不用累積法進(jìn)行檢漏，檢漏裝置本身的真空抽氣系統(tǒng)仍正常進(jìn)行抽真空，裝置的反應(yīng)時(shí)長(zhǎng)小于3s，3s當(dāng)中的抽氣系統(tǒng)的時(shí)間常數(shù)是小于一秒的；
3、較小可檢。
指其信號(hào)是本底噪聲的兩倍；
4、漏孔的漏率。
指干燥空氣（100kPa的壓力）經(jīng)漏孔通向真空端（遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于100kPa的壓力）的漏率。
對(duì)氦分壓變化有反應(yīng)的氦質(zhì)譜檢漏儀，為表征這種反應(yīng)特性，較好給出檢漏裝置的較小可檢濃度，即濃度靈敏度。所謂檢漏裝置的“濃度靈敏度”，指處在工作壓力下（工作壓力一般為10?2Pa~10?3Pa）的質(zhì)譜室，使用該裝置可檢示的大氣中的較小氦濃度的變化。而鍍膜設(shè)備的氦質(zhì)譜檢漏儀中的“較小可檢濃度”則為信號(hào)與裝置噪聲比為一或二時(shí)，當(dāng)中氦的濃度。
1.真空度低；
2.燈絲電流過(guò)大；
3.對(duì)燈絲有害的氣體氣壓太高（氧化性氣體、水蒸氣、氫氣）。
那么，在使用中盡量避免燈絲在上述惡劣環(huán)境下長(zhǎng)時(shí)間開(kāi)啟，或者說(shuō)盡量提高燈絲的上述使用條件就可以有效延長(zhǎng)氦檢漏儀的燈絲壽命。
